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KRI考夫曼射頻離子源RFICP140應(yīng)用AlTiN涂層研究

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  四川某大學(xué)實驗室研究靶電流, 偏壓、沉積時間等各試驗工藝參數(shù)對兩組試樣 AlTiN 涂層力學(xué)性能的影響旨在找出能夠鍍制優(yōu)良性能涂層的最jia工藝方案的項目中采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 作為濺射源.

 

伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 技術(shù)參數(shù):

portant;">

型號

portant;">

RFICP140

portant;">

Discharge

portant;">

RFICP 射頻

portant;">

離子束流

portant;">

>600 mA

portant;">

離子動能

portant;">

100-1200 V

portant;">

柵極直徑

portant;">

14 cm Φ

portant;">

離子束

portant;">

聚焦平行散射

portant;">

流量

portant;">

5-30 sccm

portant;">

通氣

portant;">

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

portant;">

典型壓力

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

長度

portant;">

24.6 cm

portant;">

直徑

portant;">

24.6 cm

portant;">

中和器

portant;">

LFN 2000

 

AlTiN 涂層具有高抗氧化性良好熱硬性摩擦系數(shù)低與基體之間結(jié)合力強(qiáng)耐磨性強(qiáng)等優(yōu)點因此AlTiN涂層在機(jī)械加工行業(yè),尤其是在刀具領(lǐng)域,一直是研究的熱點.

 

KRI 離子源的獨(dú)特功能實現(xiàn)了更好的性能增強(qiáng)的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性而這些特性在不使用 KRI 離子源技術(shù)的情況下是無法實現(xiàn)的.

 

KRI 離子源是領(lǐng)域公認(rèn)的領(lǐng)導(dǎo)者已獲得許多專利. KRI 離子源已應(yīng)用于許多已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的過程中.

 

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵檢漏儀質(zhì)譜儀真空計美國 KRI 考夫曼離子源美國HVA 真空閥門美國 inTEST 高低溫沖擊測試機(jī)美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.

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