超純水系統(tǒng)是指系統(tǒng)從原水至超純水完整產(chǎn)生的生產(chǎn)系統(tǒng)。 一般超純水系統(tǒng)是經(jīng)由多重過(guò)濾，離子交換，除氣，逆滲透，紫外線，超濾，納米率，離子吸附過(guò)濾所產(chǎn)生的超純水。
超純水最初是美國(guó)科技界為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來(lái)的水，如今超純水已在生物、醫(yī)藥、汽車等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒(méi)有什么雜質(zhì)，更沒(méi)有細(xì)菌、病毒、含氯二惡英等有機(jī)物，當(dāng)然也沒(méi)有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，超純水無(wú)硬度，口感較甜，又常稱為軟水，可直接飲用，也可煮沸飲用。超純水,是一般工藝很難達(dá)到的程度，如水的電阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。

超純水系統(tǒng)組成：標(biāo)準(zhǔn)組件
1、超凈過(guò)濾器裝置，濾筒用純聚丙烯制成
2、活性碳，清除無(wú)機(jī)、有機(jī)微量污染的離子交換樹脂(核級(jí)別)和吸附器樹脂
3、消毒過(guò)濾器，氣孔大小0.2μm

超純水系統(tǒng)可安裝成臺(tái)式或墻式，組成如下:
1、數(shù)字顯示外殼
2、低噪聲輸送、循環(huán)泵
3、高純水抗壓減壓器
4、塑料螺線管閥，用作自動(dòng)沖洗閥
5、PVDF 排除活栓、0.2μm消毒過(guò)濾器
6、對(duì)所有送水零件進(jìn)行消毒
7、所有送水組件均用聚丙烯或高質(zhì)量天然物質(zhì)制成
8、除熱源(僅限貨號(hào)08.2203/08.2204)
9、UV裝置，分解有機(jī)物，有效波長(zhǎng)185nm/254nm
安裝了過(guò)濾器裝置的TKA高純水系統(tǒng)生產(chǎn)出的高純水幾乎不含TOC。由于采取了不同的高純制備措施，因而盡可能減少了有機(jī)和無(wú)機(jī)成分。接線迅速接合，過(guò)濾器裝置安裝非常簡(jiǎn)單。