首先，VOCs廢氣治理的工藝特性之一是分散處理。由于VOCs廢氣的來源廣泛，因此采用分散處理的策略是必要的。這種策略涉及將廢氣收集并輸送到專門的處理設施進行處理，確保廢氣得到有效管理。

其次，多級凈化技術也是VOCs治理工藝的重要特性。為了達到更高的凈化效果，通常會采用物理過濾、化學反應和生物處理等多級凈化技術，從而有效去除或轉化有害氣體。

再者，VOCs治理工藝還強調高效脫除。針對不同種類的VOCs廢氣，會選用不同的脫除設備和技術，如活性炭吸附、催化燃燒、膜分離等，旨在最大限度地減少廢物的排放量。

此外，VOCs廢氣治理工藝還注重低成本和低能耗。通過優化治理設施的建設和運行成本，以及采用節能減排技術，不僅降低了能源消耗，也提高了經濟效益。

除了上述特性外，VOCs治理工藝還具備可靠性和穩定性。治理設施通常具有較高的可靠性和穩定性，能夠持續穩定地運行，并具備良好的維護保養條件，從而確保廢氣處理效果的持續穩定。

最后，數據監測和分析也是VOCs治理工藝的重要特性。通過對治理過程中的數據進行實時監測和分析，可以及時發現問題并進行調整優化，提高治理效果的準確性和可靠性。