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惡臭氣體利用排風設備輸入到本凈化設備后，凈化設備運用高能C波光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質其降解轉化成低分子化合物，水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。

利用高能UV光束裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA）。在通過臭氧進行氧化反應，徹底達到脫臭及殺滅細菌的目的。

UV光氧廢氣處理設備高能紫外線燈管發射的高能紫外線產生的光子所具有的能量必須大于惡臭氣體分子的分子鍵結合能，才能將惡臭氣體分子裂解。

混合氣體中需要有足夠的含氧量，才能產生足夠的游離態氧和臭氧與裂解后的惡臭氣體分子基團結合產生無污染的低分子化合物。因此不適應處理濃度過高的廢氣，如處理高濃度廢氣時，應相應的補充一部分新鮮風以增加含氧量。

UV光氧廢氣處理設備非常安全，運行穩定，去除效率高，運行費用低，無二次污染，是處理方法中較優越的廢氣處理設備。uv光氧廢氣處理原理是特制UV紫外線燈：利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業廢氣如：氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。

完全超越了傳統的臭氧等空氣凈化器，能廣泛地截獲殺滅空氣中的各類細菌，測試證明對軍團菌、金黃色葡萄球菌、枯草桿菌、黑色變種芽孢及自然菌殺滅率達99.9％以上，有效去除可吸入顆粒，達到1-10萬級潔凈度。能在有人在場的環境中持續滅菌、除塵，對人體無毒副作用。消除污染有害氣體異味，初級電子在電場中獲得加速，撞擊空氣中的氧分子。當能量超過氧分子的電離電位時氧分子迅速離子化。具有極強的氧化性等特點。