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由于大氣污染和酸化，造成了生態環境的破壞，重大災害頻繁發生，給人類造成巨大損失。因此，必須選擇一種經濟可行的治療方法。低濃度揮發性有機污染物的吸附、吸附、冷凝、燃燒等傳統處理方法難以實現。光催化降解VOCs也存在催化劑易失活的問題。低溫等離子體處理VOCs可以完全擺脫上述條件，具有潛在的優勢。

等離子光氧一體機，綜合采用了等離子廢氣凈化器和紫外光觸媒除臭廢氣凈化器兩種設備的優點組合而成，應用等離子合成技術和UV紫外光解技術別離，對廢氣和臭氣中止高效協同凈化處置：有機廢氣和惡臭氣體進入集成設備后，經過UV紫外光束區時，被紫外光波高能高效率地映照，瞬間產生光解反響；經過等離子體電場時，在納秒級時間范圍內，產生裂變合成反響；如此協同高效地產生一系光解和合成反響，經過多級凈化后從而達標排放。

維護與檢修相結合是貫徹“預防為主”方針，保證等離子光氧催化廢氣處理設備持續安全經濟運行的重要措施。對等離子光氧催化廢氣處理設備加強運行中的維護保養、檢査監測、調整潤滑可以有效地保持等離子光氧催化廢氣處理設備的各項功能，延長修理間隔期，減少修理工作量。現代化等離子光氧催化廢氣處理設備的使用，尤其應加強維護保養，可起到事半功倍的作用。在等離子光氧催化廢氣處理設備檢查和狀態監測的基礎上實施預防性檢修，不僅可以及時恢復等離子光氧催化廢氣處理設備功能，同時又為等離子光氧催化廢氣處理設備的維護創造了良好條件，減少工作量，等離子廢氣處理設備，降低維修費用，延長等離子光氧催化廢氣處理設備使用壽命。