1.在產生高能離子群體的過程中，一定數量的有害氣體分子受高能作用，本身分解成單質或轉化為無害物質。
2.含有大量高能粒子和高活性的自由基的離子群體，與大分子氣體(如苯、甲苯等)作用，打開了其分子內部的化學鍵，轉化為無害的小分子物質。新生態的氧離子具有很強的氧化性，它能有效的氧化分解不受負離子作用控制的有機物。和廢氣反應后多余的氧離子(正)，能與氧離子(負)很快結合成中性氧，因而不會更多地對設備及環境造成不利影響。
1.惡臭物質能否被裂解，取決于其化學鍵鍵能是否比所提供的UV 光子的能量要低。
2.裂解時間是否足夠1S，氧化反應的時間是否達到5-8S;
3.提供的 UV 光子總功率不夠或者含氧量不足，會因為裂解或氧化不完全而生成一些中間副產物，從而影響凈化效率。對于高濃度大分子的有機惡臭物質體現得較為明顯。
4.UV 光解凈化的長期穩定、高效，需要反應溫度<60℃，粉塵量<100mg/m 3 ，相對濕度<97%。
5.廢氣物質中若某種特殊化學元素的含有量過高 (如 Cl、 F 等) ，也會導致強化劑臭氧的生成量大大降低，最終影響總體的凈化效果。